微機電係統 (MEMS) 在許多應用中都是一項有價(jia) 值的技術，多年來已用於(yu) 執行一係列功能。雖然它們(men) 現在是一項較舊的技術，但製造技術的進步正在產(chan) 生更小的特征和更小的組件，這使得 MEMS 能夠用越來越多的材料來製造。使用更廣泛的材料創建更多特征、結構和組件的能力使 MEMS 具有了廣泛的應用前景。
MEMS 是小型集成係統，將機械和電氣元件組合成功能設備。有許多不同的方法可用於(yu) 製造MEMS 的不同組件，以及對每個(ge) 組件中使用的材料結構進行圖案化和操縱。這些範圍從(cong) 使用集成電路批量處理方法來創建電子元件到用於(yu) 製造機械元件的各種先進的微加工、光刻和沉積方法。
MEMS 設備包含許多組件，並且可能是相當複雜的係統。不同的部件可以由多種材料製成，從(cong) 矽到各種金屬、陶瓷和聚合物材料。構成 MEMS 設備的組件是在微米級製造的，但如果包含多個(ge) 組件，整個(ge) 設備仍然可以在毫米級。
MEMS 器件包含集成在矽芯片上的各種機械微結構、微傳(chuan) 感器、微執行器和微電子器件。 MEMS 中的廣泛組件意味著用它們(men) 創建的任何設備都可以設計為(wei) 在微觀層麵上進行傳(chuan) 感、控製和驅動，同時提供宏觀層麵的效果和功能。例如，已經使用 MEMS 開發了許多不同的致動器，包括光學、輻射、熱、磁、化學和機械致動器。鑒於(yu) MEMS 器件的範圍廣泛以及可利用的組件和材料的數量，MEMS 有許多關(guan) 鍵應用領域，尤其是工業(ye) 、汽車、光子、生命科學和射頻領域。
在傳(chuan) 感應用方麵，MEMS 已用於(yu) 創建壓力傳(chuan) 感器、加速度計輻射傳(chuan) 感器、熱傳(chuan) 感器、磁傳(chuan) 感器、質量流量傳(chuan) 感器、氣體(ti) 傳(chuan) 感器、化學傳(chuan) 感器和生物傳(chuan) 感器。在特定行業(ye) 中，壓力傳(chuan) 感器已用於(yu) 高溫工業(ye) 環境和醫療應用。某些汽車應用使用加速度傳(chuan) 感器作為(wei) 安全氣囊展開傳(chuan) 感器，而氣體(ti) 傳(chuan) 感器則用於(yu) 測量一氧化碳的水平。
展望工業(ye) 領域更具體(ti) 的應用，MEMS 已用於(yu) 數據存儲(chu) 係統中的流體(ti) 噴嘴、鉸鏈機構、熱噴墨打印機頭、微機械閥門、微型泵和微型定位器。 MEMS 還廣泛用於(yu) 光學和光子應用，包括顯示器、紅外成像應用、投影顯示器、光纖通信設備、可調諧激光器、光開關(guan) 、光子開關(guan) 和波長鎖定設備。
在醫療和生命科學應用中，MEMS 的用途非常廣泛。 MEMS 在微流體(ti) 設備中用作混合和泵送組件的一部分，在可以分析細胞培養(yang) 物和 DNA（及其雜交）的微電極陣列中，以及在芯片上 PCR 和芯片上電泳設備中使用。
MEMS 廣泛使用的另一個(ge) 特定領域是 RF 應用。 MEMS器件已用於(yu) 微機械電容器和電感器、微機電諧振器、梳狀驅動諧振器、梁諧振器、耦合諧振器帶通濾波器、微機電開關(guan) 、薄膜並聯開關(guan) 和懸臂梁開關(guan) 。
MEMS 應用的範圍超出了我們(men) 在此詳細介紹的範圍，而且坦率地說，也超出了 MEMS 最真實的定義(yi) 。雖然 MEMS 有一些明確的功能與(yu) 其他複雜係統區分開來，但它與(yu) 使用微米級元件的其他集成技術及其使用的應用領域存在一些重疊。在這方麵，MEMS 和其他類似的集成係統通常屬於(yu) 微係統技術 (MST) 的旗幟。一個(ge) 例子是微光機電係統（MOEMS），它與(yu) MEMS類似，但不僅(jin) 僅(jin) 使用機械和電子元件，MOEMS還使用微型化光學器件來執行特定功能，並賦予設備不同的宏觀性能、效果、和功能。
MEMS 是複雜但多功能的係統，包含許多不同的電子和機械組件，並根據內(nei) 部組件執行不同的批量功能。 MEMS 可用的材料和組件範圍廣泛，使其能夠針對許多不同行業(ye) 的廣泛應用進行設計和開發，包括工業(ye) 製造、汽車、生命科學、射頻、光學和光子學。隨著製造方法的進步不斷製造出更小的特征和元件，MEMS 的應用範圍很可能會(hui) 繼續擴大，盡管它已經成為(wei) 一項成熟的技術很多年了。
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