微機電係統（MEMS）是一種可定義(yi) 為(wei) 晶圓級微型機械和機電元件的技術。這使得 MEMS 技術能夠嵌入到可以集成在印刷電路上的芯片上，就像任何其他電子元件一樣。
設備由集成微電子控製下的機電元件（移動或不動）組成。
MEMS 的功能元件是微型結構、傳(chuan) 感器、執行器和微電子器件。微傳(chuan) 感器和微執行器被歸類為(wei) 傳(chuan) 感器，是將測量的機械信號轉換為(wei) 電信號的設備。
微型傳(chuan) 感器現在可用於(yu) 各種測量，例如溫度、壓力、磁場或慣性測量。
我們(men) 的 IMU 選用了高質量的 MEMS 元件。與(yu) 機械或 FOG 陀螺儀(yi) 或伺服加速度計等競爭(zheng) 技術相比，這種 MEMS 技術具有許多優(you) 勢：
• 微型設計提供了更小、更輕的產(chan) 品，從(cong) 而能夠覆蓋新的應用。
• 該技術非常堅固，具有更高的抗衝(chong) 擊性以及免維護操作。
• 與(yu) FOG 或 RLG 等其他技術相比，MEMS 設計提供了具有成本效益的解決(jue) 方案。
盡管相同的 MEMS 技術也用於(yu) 智能手機和平板電腦等消費類應用，但低成本 MEMS 與(yu) 導航級 MEMS 傳(chuan) 感器之間存在非常大的性能差距。
IMU 專(zhuan) 為(wei) 惡劣環境而設計。具體(ti) 的發展帶來了高效的振動處理。
當受到振動時，加速度計或陀螺儀(yi) 的偏差會(hui) 增加。這種振動對加速度計的影響稱為(wei) VRE。因此，一個(ge) 好的起點是選擇具有低 VRE 的傳(chuan) 感器，以承受更高水平的振動。
第二點是設計高效的硬件和軟件信號處理，特別是高頻采樣（>1kHz）將防止混疊問題並提高傳(chuan) 感器數據分辨率。
• 3DM-GX5-GNSS/AHRS 高性能 GNSS 導航傳(chuan) 感器
• 3DM-GX5-IMU 高性能慣性測量單元（IMU）
• 3DM-CV5-IMU 嵌入式慣性測量單元
• Advanced Navigation Orientus MEMS AHRS 傳(chuan) 感器
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