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日本美蓓亞三美 MMS101 微型6分量力/力矩傳感器
詳情說明

      一、MMS101 微型6分量力/力矩傳感器介紹

      日本美蓓亞(ya) 三美(MinebeaMitsumi)MMS101 是一款6軸力扭矩傳(chuan) 感器,它具有3軸力和3軸力矩。 MMS101 采用MEMS芯片和金屬結構的混合結構,實現6軸檢測。 MMS101 在其模塊中內(nei) 置了 AFE IC,並產(chan) 生數字輸出 (SPI)。 用於(yu) 矩陣運算的校正係數(去除其他軸幹擾分量)存儲(chu) 在 AFE IC 內(nei) 的存儲(chu) 器中。 由於(yu) 可以在測量開始前立即讀取它們(men) ,因此用戶無需控製傳(chuan) 感器和校正係數。


      此外,MMS101 模塊中內(nei) 置的 LDO 可降低噪音。 本產(chan) 品極其小巧輕便,適用於(yu) 機器人手的指尖。


      二、MMS101 微型6分量力/力矩傳感器的特點

         • 微型尺寸:Φ9.6(W) × 9.0(H) mm;

         • 重量輕:3 g;

         • 高載荷範圍: Fx, Fy, Fz:200N / Mx, My, Mz:1.8N・m;

         • 額定量程範圍: Fx, Fy, Fz:40N / Mx, My, Mz:0.4N・m;

MMS101 傳(chuan) 感器的載荷及量程範圍

         • 內(nei) 置LDO降噪:

                  • Fx, Fy:0.04N RMS /   Fz:0.06N RMS;

                  • Mx, My:0.0004N・m RMS /   Mz:0.0008N・m RMS;

         • 通過內(nei) 置序列器(SPI)數字輸出6軸數據。


      三、MMS101 微型6分量力/力矩傳感器的技術規格

(1)力/扭矩傳感器性能指標
測試條件(T = 25℃, VDD = 3.8 to 14 V, VDDIO = 1.14 to 3.6 V)
指標符號條件最小典型值最大單位
理論分辨率FxFyFzFRES--0.001-N
MxMyMzMRES--0.00001-N・m
有效分辨率(備注1)FxFyFEresxy--0.04-N
FzFEresz--0.06-N RMS
MxMyMEresxy--0.0004-N・m/RMS
MzMEresz--0.0008-N・m /RMS
線性度(備注1)FLFS=40N or-1-1%FS
ML0.4N・m-1-1%FS
滯後FHysFS=40N or-1-1%FS
MHys0.4N・m-1-1%FS
測量精度 (備注1)FAccFS=40N or-5-5%FS
MAcc0.4N・m-5-5%FS
轉換時間tcon--781.25-usec
延時tlat

轉換時間:典型值;

通訊時鍾:1MHz;

無延遲切換 AFE 訪問

--2msec
備注1: 圖表中的值是使用我們的評估設備和電路板的測量結果


(2)電氣指標
模擬指標(T= 25℃, VDD = 4.3 V, VDDIO = 3.3 V)
指標符號條件最小典型值最大單位
VDD 電流消耗IVDDact測試工況--10mA
VDDIO 電流消耗IVDDIOact測試工況--20uA
數字I/O 指標(T = 25℃, VDD = 3.8 to 14 V, VDDIO = 1.14 to 3.6 V)
指標符號條件最小典型值最大單位
高電平輸入電壓VIH-0.8 × VDDIO-VDDIO + 0.3V
低電平輸入電壓VIL--0.3-0.2 × VDDIOV
輸出電壓高電平VOH1

VDDIO ≧ 2.0V,

Iload = -3mA

VDDIO - 0.4--V
VOH2

VDDIO < 2.0V,

Iload = -1mA

0.8 × VDDIO--V
輸出電壓低電平VOL1

VDDIO ≧ 2.0V,

Iload = 3mA

--0.4V
VOL2

VDDIO < 2.0V,

Iload = 1mA

--0.2 × VDDIOV


(3)尺寸規格
MMS101 傳感器的尺寸圖
推薦的FPC連接器:FH28D-20S-0.5SH (HIROSE ELECTRIC CO.,LTD)


(4)傳感器坐標
*坐標原點是傳感器頂麵中心.
MMS101 傳感器坐標


      四、MMS101 微型6軸力/力矩傳感器的應用領域

應用實例
MMS101 傳感器應用於機器手、夾具MMS101 傳感器應用於檢驗流程設備
應用於機械手、夾具
應用於檢驗流程設備等




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